唐代书法家。蒲州汾阴(今属山西)人。则天武后时，随从张易之，官至正谏大夫。工书，善真书，笔法瘦劲若屈铁。清代梁薛巘《评书帖》称：「薛曜书瘦硬，开山谷之门。」传世书迹有《万岁登封元年封祀坛碑》、《秋日宴石淙序》等。